近年來常見的消毒柜，如包材消毒柜、工作服消毒柜、瓶蓋消毒柜、餐具消毒柜、檔案消毒柜等都開始采用臭氧消毒的方式。臭氧消毒是常溫消毒方式，不但消毒效果好，而且可以避免高溫消毒導致某些陶瓷餐具表面鉛金屬的析出，同時，非常適合不能采用高溫方式消毒的物品，如包材、瓶蓋、塑料制品等物品的消毒，另，還可以節約大量的電力能源。

臭氧是一種具有廣泛性的、的快速殺菌劑，它可以殺滅使多細菌、病毒及微生物。它的消毒機理是：通過在較短的時間內破壞細菌、病毒和其他微生物的結構，使之失去生存能力。臭氧的殺菌作用是快速的，當其濃度超過一定數值后，消毒殺菌甚至可以瞬間完成。臭氧對很多病菌、霉菌、病毒、真菌、原蟲、卵囊都具有明顯的滅活效果，且就滅菌時間來說，迅速無比，是氯的300-600倍，紫外線的3000倍。高溫消毒與之是無法比擬的。臭氧還可以通過氧化反應除去有毒氣體如CO、NO、SO2、芥子氣等。